研发制造精密材料工程设备与软体的应用材料公司上午发布新开发的Applied ReflexionR LK Prime化学机械研磨 (CMP)系统，及AppliedProducerR XP Precision化学气相沉积 (CVD)系统。两项创新的CMP和CVD机台，能够直接处理精密、材料和瑕疵的问题...

石墨烯材料具有优良的物理特性和易于与硅技术相结合的特点，被学术界和工业界认为是推进微电子技术进一步发展的极具潜力的材料。日前，中国科学院微电子研究所微波器件与集成电路研究室（四室）石墨烯研究小组成员(麻芃、郭建楠、潘洪亮)在金智研究员和刘新宇研究员的带领下，分别在采用微机械剥离方法、SiC外延生长...